薄膜・断面試料作製 FIB(集束イオンビーム)加工 イオンミリング加工 サービス ボイラ劣化診断 蒸気タービン精密点検 プラント設備運転・点検・整備 表面・局所分析 形状観察 構造解析 元素分析 結合状態 薄膜・断面試料作製 物性測定