形状観察 各種材料の表面形状観察 結晶粒の形状観察 多層薄膜断面構造観察 極微小領域の組成分析 エネルギー分散型X線検出器付 走査電子顕微鏡（SEM-EDS） 炉内クリンカ断面のSEM-EDS元素マッピング エネルギー分散型X線検出器付 電解放射型走査電子顕微鏡 （FE-SEM-EDS） ボイラ給水中Fe粒子のFE-SEM-EDS分析 サービス ボイラ劣化診断 蒸気タービン精密点検 プラント設備運転・点検・整備 表面・局所分析 形状観察 構造解析 元素分析 結合状態 薄膜・断面試料作製 物性測定
